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产品资料

LINTEC琳得科 质量流量控制器
产品型号： MC-5200L
简介：

高速响应质量流量控制器 响应时间为 200 毫秒的超快速质量流量控制器。 采用热式传感器，可实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。Lintec独特的非接触式热式流量传感器和压电控制阀，能够实现腐蚀性气体的超高速流量控制。 流量精度高​​达±1.0% SP，数字通信方式可选择DeviceNet和EtherCAT。 MC-7000 特征 超高速流量控制 200 毫秒 精

LINTEC琳得科 质量流量控制器  的详细介绍
高速响应质量流量控制器
响应时间为 200 毫秒的超快速质量流量控制器。
采用热式传感器，可实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。Lintec独特的非接触式热式流量传感器和压电控制阀，能够实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度高达±1.0% SP，数字通信方式可选择DeviceNet和EtherCAT。




MC-7000
特征
超高速流量控制 200 毫秒
精度±1%SP
工作温度 5-50℃
金属密封件
洁净（保证无颗粒）
环境温度补偿传感器
EtherCAT 通信
DeviceNet™ 通信
超高速流量控制


 控制从完全关闭状态开始


脉搏反应性
使用示例
高速蚀刻工艺
在半导体制造工艺中，对提高产能和小型化的需求日益增长。在用于控制反应气体流量的质量流量控制器中，对更短的流量控制启动时间的需求也日益迫切。超高速质量流量控制器[MC-7000]是一款非接触式热流量传感器，其流量传感器与被测气体之间无需接触，即可实现200毫秒的超快响应速度。由于采用非接触式设计，它能够实现对腐蚀性气体流量的高速流量控制测量。
规格
温度
*小压差
*大压差
准确性
控制范围
*低文件系统
*大 FS
海豹
5~50℃
50千帕
300千帕
±1%SP
2-100% FS
5SCCM
20SLM
奥


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