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产品资料

PFEIFFER VACUUM普发ASM390检漏仪
产品型号：ASM 392
简介：

‌ASM 390/392是普发真空（Pfeiffer）推出的移动型氦质谱检漏仪‌，专为半导体、平板显示器及其他高要求行业设计，适用于大型部件的高效泄漏检测。 核心特点‌ ‌高灵敏度与快速响应‌：*小检测漏率可达 ‌1×10⁻¹² mbar·l/s（真空模式）‌，响应时间 ‌<1秒‌，大幅提升检测效率。 ‌强大抽空能力‌：配备干式非接触前级泵和涡轮分子泵，前级泵抽速达 ‌35 m³/h‌，可快

PFEIFFER VACUUM普发ASM390检漏仪  的详细介绍
技术参数
ASM 390
ASM 392
测试方法
喷枪和吸枪测试
喷枪和吸枪测试
可检测气体
⁴He、³He、H₂
⁴He、³He、H₂
氦气的*低可检测泄漏率（喷枪测试） (Pa m³/s)
1 · 10⁻¹³ Pa m³/s
1 · 10⁻¹³ Pa m³/s
氦气的*低可检测泄漏率（喷枪测试） (mbar l/s)
1 · 10⁻¹² mbar l/s
1 · 10⁻¹² mbar l/s
氦气的*低可检测泄漏率（吸枪测试） (Pa m³/s)
1 · 10⁻⁹ Pa m³/s
1 · 10⁻⁹ Pa m³/s
氦气的*低可检测泄漏率（吸枪测试） (mbar l/s)
1 · 10⁻⁸ mbar l/s
1 · 10⁻⁸ mbar l/s
氦气抽速
10 l/s
25 l/s
电源
100 - 240 V
100 - 240 V
功耗
800 W
800 W
*大功耗
1600 W
1600 W
*大进气压力测试
20 mbar
20 mbar
启动时间（20 °C）
< 2 *小
< 2 *小
响应时间
< 1 s
< 1 s
前级泵
多级罗茨真空泵
多级罗茨真空泵
粗加工能力
35 m³/h
35 m³/h
运行温度
10 - 35 °C
10 - 35 °C
通信接口
I/O、RS-232、以太网（PC，非工业）
I/O、RS-232、以太网（PC，非工业）
噪声级
≤ 55 dB(A)
≤ 55 dB(A)
重量（约）
125 kg
130 kg
尺寸（L x W x H）
1072 x 455 x 1025 mm
1072 x 455 x 1025 mm
入口配流口
DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF

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