模型 FBZ085010 舞台板材料 铝 - 黑色阳极氧化 发动机 HR8电机（压电超声波驻波电机） 轴承类型 精密交叉滚子轴承，具有滚子运动和防滑功能 编码器 金带刻度光学线性编码器 电缆长度 3米 MTBF（平均故障间隔时间） 30,000 小时 舞台弥撒 1300克 运动质量 310克 RoHS 兼容性 真空兼容选项 高真空 (HV) *高可达 1.4 x 10-5 Pa ( 10-7 Torr ) 超高真空 (UHV) *高可达 1.4 x 10-8 Pa ( 10-10 Torr ) 性能规格 移动范围（毫米） 10毫米 编码器分辨率 标准10nm 双向重复性 标准 0.1μm 准确性 标准 3μm 每种模式下的*小进给量 （取决于编码器和控制器） AC模式 100nm UHR模式 5nm DC模式 <1nm *大速度（垂直） 50毫米/秒 直线度和平面度 ±2 μm 俯仰角和偏航角 ±30μrad 允许载荷 5公斤 动态失速力 160牛顿 电机刚性 57牛/微米 静压 150牛顿 此外，FZ楔形舞台可以按下表所示的组合购买。
模型 FBZ085010 舞台板材料 铝 - 黑色阳极氧化 发动机 HR8电机（压电超声波驻波电机） 轴承类型 精密交叉滚子轴承，具有滚子运动和防滑功能 编码器 金带刻度光学线性编码器 电缆长度 3米 MTBF（平均故障间隔时间） 30,000 小时 舞台弥撒 1300克 运动质量 310克 RoHS 兼容性 真空兼容选项 高真空 (HV) *高可达 1.4 x 10-5 Pa ( 10-7 Torr ) 超高真空 (UHV) *高可达 1.4 x 10-8 Pa ( 10-10 Torr ) 性能规格 移动范围（毫米） 10毫米 编码器分辨率 标准10nm 双向重复性 标准 0.1μm 准确性 标准 3μm 每种模式下的*小进给量 （取决于编码器和控制器） AC模式 100nm UHR模式 5nm DC模式 <1nm *大速度（垂直） 50毫米/秒 直线度和平面度 ±2 μm 俯仰角和偏航角 ±30μrad 允许载荷 5公斤 动态失速力 160牛顿 电机刚性 57牛/微米 静压 150牛顿 此外，FZ楔形舞台可以按下表所示的组合购买。
模型 FBZ085010 舞台板材料 铝 - 黑色阳极氧化 发动机 HR8电机（压电超声波驻波电机） 轴承类型 精密交叉滚子轴承，具有滚子运动和防滑功能 编码器 金带刻度光学线性编码器 电缆长度 3米 MTBF（平均故障间隔时间） 30,000 小时 舞台弥撒 1300克 运动质量 310克 RoHS 兼容性 真空兼容选项 高真空 (HV) *高可达 1.4 x 10-5 Pa ( 10-7 Torr ) 超高真空 (UHV) *高可达 1.4 x 10-8 Pa ( 10-10 Torr ) 性能规格 移动范围（毫米） 10毫米 编码器分辨率 标准10nm 双向重复性 标准 0.1μm 准确性 标准 3μm 每种模式下的*小进给量 （取决于编码器和控制器） AC模式 100nm UHR模式 5nm DC模式 <1nm *大速度（垂直） 50毫米/秒 直线度和平面度 ±2 μm 俯仰角和偏航角 ±30μrad 允许载荷 5公斤 动态失速力 160牛顿 电机刚性 57牛/微米 静压 150牛顿 此外，FZ楔形舞台可以按下表所示的组合购买。