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产品资料

进口Otsuka大冢电子 接触式显微测厚仪
产品型号：OPTM-A3
简介：

OP™（Optimum）是一款利用显微光谱技术测量微观区域**反射率的仪器，能够高精度地分析薄膜厚度和光学常数。它可以 无损、非接触地测量各种薄膜、晶圆、光学材料等表面涂层和多层膜的厚度。其测量速度极快，每点测量仅需1秒。此外，它还配备了配套软件，即使是初学者也能轻松分析光学常数。

进口Otsuka大冢电子 接触式显微测厚仪  的详细介绍

规格
类型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波长范围 230至800纳米 360至1100纳米 900至1600纳米
薄膜厚度范围*1 1纳米至35微米 7纳米至49微米 16纳米至92微米
样本量*2 *大尺寸 200 x 200 x 17 毫米
斑点直径 φ5、φ10、φ20、φ40 微米

*以上规格包含自动XY平台。

*1 薄膜厚度范围按SiO2计算。

*2 有关 300 毫米平台的问题，请另行联系我们。


 

类型 自动XY平台类型 固定框架类型 内置式头部
尺寸
（宽 x 深 x 高） 		556×566×618 毫米 368×468×491毫米 210×441×474 毫米
90×250×190 毫米*
重量 66公斤 38公斤 23公斤
4公斤*
*大功耗 交流100V±10V 500VA 交流100V±10V 400VA

*交流/直流电源单元


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