规格

模型	FE-5000系列
测量方法	旋转分析仪法* 1
测量薄膜厚度范围（nd）	0.1纳米至1微米
入射（反射）角范围	45至90度
入射（反射）角驱动方法	自动正弦杆驱动系统
tan ψ 测量精度	±0.01 或更小
cosΔ测量精度	±0.01 或更小
薄膜厚度的重复性	0.01% 或更低* 2
波长范围* 3	300至800纳米
测量光源	高稳定性氙灯
舞台驱动系统	手动/自动

*1 偏振器可驱动，并配有可拆卸式延迟器用于消除死区。
*2 使用 VLSI 标准 SiO2 薄膜（100 nm）时的数值。
*3 选择自动载物台时的数值。