KOFLOC科赋乐 流量计
产品型号:5100
简介:科赋乐KOFLOC 5100系列是面向半导体等高洁净场景的**金属密封质量流量控制器,是该品牌主打高精密、低泄漏的经典型号,相关核心信息如下:
你可以查看产品官方详情:**金属密封质量流量控制器 - KOFLOC官网
一、核心技术参数
表格
参数项 具体规格
适配气体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等多种气体
流量范围(N₂换算,20℃/1atm) 1SCCM~20SLM
传感器类型 热式质量流量传感器
阀门类型 比例电磁阀(未通电时自动关闭)
控制范围 2~100%F.S.
响应速度 1秒以内(0~100%调节至±2%F.S.典型值)
测量精度 ±1%F.S.(15~35℃环境下精度有保障)
重复性 ±0.2%F.S.
操作压差 满量程≤5SLM:50~300kPa;满量程>5SLM:100~300kPa,支持低压差定制选项
密封材质 S