KOFLOC科赋乐 流量计
产品型号:3200
简介:科赋乐KOFLOC 3200系列是该品牌面向微小流量场景的经典高性能质量流量控制器,已在半导体、分析仪器、生物等多领域得到广泛验证。
一、核心性能参数
表格
参数项 具体规格
量程范围(N₂) 常规1SCCM~20SLM,可定制0.02~1SCCM超小流量
精度 ±1.0%FS
重复性 ±0.2%FS
响应时间 1秒以内
耐压 1.0Mpa,进口*大压力0.3Mpa
动作压差 0.05~0.3Mpa
泄漏率 1×10⁻⁸pa·m³/s以下
工作温湿度 5~45℃,10~90%RH(不可结露)
供电 ±15VDC,100mA
信号规格 0~5V DC 输入/输出
整机重量 约1000g
质保期 1年
管路连接 标配1/4F9,可选1/8F9、1/4UJR、RC1/4
电气接口 DB9
主体材质 SUS316L,密封圈可选NBR、PTFE、FKM等
二