直发ULVAC爱发科 真空泵
产品型号：LS300
简介：ULVAC爱发科LS300是该品牌LS系列的中型水冷螺杆干式真空泵，主打洁净无油抽气，适配无强腐蚀、无大量粉尘的常规工业真空工况，是中大型产线的通用型主力真空设备。
一、产品基础介绍
产品定位：爱发科LS系列中型工业级无油螺杆干泵，专为中大型量产场景设计，替代传统油旋片泵实现洁净无油真空输出
核心优势：泵腔全程无润滑油介入，杜绝油蒸汽返流污染工艺腔体，解决传统油式泵返油、乳化、频繁换油的维护痛点，支持24小时连续不间断运行
适配场景：半导体前道制程、光学镀膜、锂电常规干燥、高校科研实验室等对真空洁净度有要求的工况
二、核心参数配置
表格
参数项目 规格数值
*大抽气速度 300 m³/h
极限无油真空度 ≤0.5 Pa
电机额定功率 3.7 kW
极限压力下运行功耗 1.8 kW
运行噪音（极限压力下） 63 dB(A)
冷却方式 强制水冷
冷却