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产品资料

供货ULVAC爱发科 真空泵
产品型号:HR90
简介:

ULVAC爱发科HR90是该品牌HR系列的大抽速高性能罗茨真空泵,主打大流量、高压缩比,作为前级干泵的增压级使用,可大幅提升中高真空区间的抽气效率,适配大容积工业真空产线的快速抽气需求。 一、产品基础介绍 ‌产品定位‌:ULVAC爱发科HR系列大流量工业级罗茨真空泵,专为中大型量产真空系统设计,作为增压泵与前级干泵/油旋片泵串联使用,大幅提升系统在1000Pa~1Pa区间的抽气效率 ‌核心优势‌:采用无接触高精度转子结构,运行磨损极低,可长期24小时连续运行,压缩比高,能有效降低前级泵的抽气负荷,大幅缩短产线抽气节拍 ‌设计特点‌:内置压差保护阀,可防止入口压力过高导致的转子过载,标配温度、压力传感器,支持运行状态实时监测,可对接产线MES系统,适配自动化产线无人值守需求 二、核心参数配置 表格 参数项目 规格数值 *大抽气速度 900 m³/h 允许入口压力范围 1

供货ULVAC爱发科 真空泵  的详细介绍

ULVAC爱发科(日本真空技术株式会社)是1952年成立的全球**真空技术综合制造商,也是日本规模*大的真空技术企业,在全球PVD设备市场与美国AMAT、瑞士Evatec形成三足鼎立的行业格局。

一、企业基础概况

  • 成立背景‌:1952年由一批年轻工程师创立,总部位于日本神奈川县茅崎市,核心愿景是通过真空技术推动工业与科学发展
  • 经营规模‌:全球员工超6000人,年营业额达1200亿日元,业务覆盖全球近100个国家和地区
  • 经营理念‌:以“通过真空技术为产业和科学发展做贡献”为核心,始终坚持创业初心,持续拓展真空技术的应用边界

二、核心产品与技术体系

  • 全品类真空设备‌:覆盖真空泵、真空阀门、配管部件等“创造真空”类产品,真空计、检漏仪等真空检测类仪器,以及成膜电源、椭偏仪、真空晶圆搬运机械手等工艺配套设备
  • 细分领域专用设备‌:半导体/电子器件生产设备、EB电子束蒸镀全系列产品(EGN/EGO/EGK/EGL等多个系列)、稀土磁铁专用真空溶解炉等定制化设备
  • 配套耗材‌:SMR-100等专用真空泵油,适配全系列油回转真空泵,低温启动性能优异,保障设备长期稳定运行
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