ULVAC爱发科 真空泵
产品型号：HR300
简介：ULVAC爱发科HR300是该品牌HR系列的大流量高性能罗茨真空泵，主打超大抽速、高压缩比，作为前级干泵的增压级使用，可大幅提升中高真空区间的抽气效率，适配超大型工业真空产线的快速抽气需求。
一、产品基础介绍
产品定位：ULVAC爱发科HR系列大流量工业级罗茨真空泵，专为超大型量产真空系统设计，作为增压泵与前级干泵/油旋片泵串联使用，大幅提升系统在1000Pa~1Pa区间的抽气效率
核心优势：采用无接触高精度转子结构，运行磨损极低，可长期24小时连续运行，压缩比高，能有效降低前级泵的抽气负荷，大幅缩短大容积腔体的抽气节拍
设计特点：内置压差保护阀，可防止入口压力过高导致的转子过载，标配温度、压力传感器，支持运行状态实时监测，可对接产线MES系统，适配自动化产线无人值守需求
二、核心参数配置
表格
参数项目 规格数值
*大抽气速度 3000 m³/h
允许入口压力