ULVAC爱发科（日本真空技术株式会社）是1952年成立的全球**真空技术综合制造商，也是日本规模*大的真空技术企业，在全球PVD设备市场与美国AMAT、瑞士Evatec形成三足鼎立的行业格局。

一、企业基础概况

• ‌成立背景‌：1952年由一批年轻工程师创立，总部位于日本神奈川县茅崎市，核心愿景是通过真空技术推动工业与科学发展
• ‌经营规模‌：全球员工超6000人，年营业额达1200亿日元，业务覆盖全球近100个国家和地区
• ‌经营理念‌：以“通过真空技术为产业和科学发展做贡献”为核心，始终坚持创业初心，持续拓展真空技术的应用边界

二、核心产品与技术体系

• ‌全品类真空设备‌：覆盖真空泵、真空阀门、配管部件等“创造真空”类产品，真空计、检漏仪等真空检测类仪器，以及成膜电源、椭偏仪、真空晶圆搬运机械手等工艺配套设备
• ‌细分领域专用设备‌：半导体/电子器件生产设备、EB电子束蒸镀全系列产品（EGN/EGO/EGK/EGL等多个系列）、稀土磁铁专用真空溶解炉等定制化设备
• ‌配套耗材‌：SMR-100等专用真空泵油，适配全系列油回转真空泵，低温启动性能优异，保障设备长期稳定运行

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