山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台
产品型号：SYA0775-R02
简介：SYA0775-R02核心参数
基础规格：台面尺寸75mm×100mm，单轴行程±37.5mm，整机高度105mm，自重1.9kg
精度性能：重复定位精度≤±0.2μm，分辨率0.05μm（1/20微步模式），水平真直度≤1.5μm/50mm
传动导向：十字交叉滚子导轨，滚珠丝杠导程1.0mm
负载能力：水平*大负载186N（19kgf）
电气配置：标配5相步进电机，搭载F-115型原点/限位传感器，20针广濑圆形连接器接口
特殊属性：属于精密横辊导向器，适配半导体无尘室场景，可定制洁净/真空低析出润滑版本
二、典型适配场景
半导体行业：6/8/12英寸晶圆光刻对准、晶圆缺陷检测、探针台芯片点位微量调节
平板显示行业：LCD/OLED面板像素亮点暗点视觉检测、玻璃基板曝光对位
光学与光通信：光纤耦合六轴自动对准、高像素CMOS镜头组装