山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台
产品型号：XA05A-R202
简介：山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台 XA05A-R202是日本KOHZU神津精机XA系列的紧凑型单轴自动X轴平台，属于短行程微型精密位移台，主打亚微米级高精度定位性能，适配光学检测、半导体制造等**精密场景。
一、核心详细参数
基础规格：工作台尺寸50mm×50mm，移动行程±7.5mm，整机重量0.45kg，本体材质为铝合金，表面做白色涂装处理。
精度性能：整步/半步分辨率1μm/0.5μm，1/20细分微步分辨率0.05μm，重复定位精度≤±0.2μm（平均值±0.04μm），丝杠累积导程误差≤5μm/15mm（平均值1.43μm/15mm）。
形位公差：空回量/回程间隙≤0.5μm（平均值0.18μm），水平/垂直直线度≤1μm/15mm，背隙≤0.2μm（平均值0.1μm），力矩刚性0.31 arcsec/N·cm（平均值0.18 arcsec/N·c