山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台
产品型号：XA16F-L2101
简介：共参考20篇资料
结合你之前持续调研KOHZU神津精机全系列精密滑台的选型需求，以下为你完整梳理XA16F-L2101的全维度相关
信息。
一、核心详细参数
基础规格:台面尺寸160x160mm，单轴有效行程±50mm，整机采用铁制主体+铝合金台面，刚性表现优异。
精度性能:重复定位精度≤+0.5um，分辨率整步10um/半步5um，1/20微步进可达0.5um，*高速度50mm/s，累
积误差≤15um/100mm，空程≤5um。
形位公差:水平直线度≤4um/100mm，垂直直线度≤2um/100mm，背隙≤2um。