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山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台
产品型号：SA05A-R2S01
简介：

机械规格 模型 SA05A-R2S01 误解 SA05A-R2S01-RRR 桌面 50毫米 x 50毫米 指导方法 精密十字滚轮导轨 旋转范围 ± 5° (R2T01)，±4.5° (R2M01) 饲喂方法 滚珠丝杠，导程 1.0mm 分辨率：全屏/半屏 约 0.002126°/0.001063°(R2T01)，约 0.001594°/0.000797°(R2M01) 分辨率：微步进（1/20 格） 约 0.0001063°(R2T01)，约 0.0000797°(R2M01) *高速度 16°/秒 (R2T01)，12°/秒 (R2M01)：半 比产品线，具备高精度、长冲程、交货期短的特点。 一、核心机械参数 ‌台面尺寸‌：100×120mm ‌有效行程‌：±37.5mm ‌重复定位精度‌：±0.3μm ‌微步分辨率‌：0.05μm

山金KOHZU神津精机 精密XY自动滑台  的详细介绍

二、电气配置特性

  • ‌标配电机‌：5相步进电机（东方马达PK524HPMB），轴径Φ5mm，相电流0.75A，基础步距角0.36°
  • ‌传感器配置‌：F-115型原点/限位传感器
  • ‌接口类型‌：20针广濑圆形连接器（RP13A-12JG）
  • ‌可选版本‌：支持两相电机定制款（SYA0750-R01-BM），适配不同驱动系统

三、产品核心优势

  • 出厂完成双轴正交度校准，无需二次装配调试，大幅降低设备集成门槛
  • 侧装步进电机紧凑布局，适配自动化设备狭小机箱内部安装
  • 长行程运行平直度稳定，双轴联动扫描无卡顿偏移
  • 可搭配KOSMOS系列控制器成套使用，实现高精度位移控制

四、典型适配场景

  • 中小型晶圆通检、半导体芯片缺陷扫描检测
  • 光学镜头模组批量对焦、光学元件精密对位
  • 平板显示小尺寸面板缺陷扫描定位
  • 电子元器件多点位同步检测、微纳光学器件制程位移控制 
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