MIYUKI美幸辉BAR-J100是山金工业旗下的JIS DN100规格经济型电动伺服控制蝶阀，专为高洁净真空系统的高精度压力调节场景设计。

核心技术参数

• ‌通径规格‌：DN100（100A），属于BAR系列中大口径型号
• ‌压力适用区间‌：常压10⁵Pa ~ 高真空10⁻⁵Pa，覆盖粗抽、工艺高真空全流程
• ‌泄漏率指标‌：阀座密封≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
• ‌过流部件材质‌：阀体、蝶板、阀杆均为SUS304不锈钢，内腔电解镜面抛光
• ‌密封配置‌：标配FKM氟橡胶密封圈，可选FFKM全氟醚密封圈适配高温、腐蚀性工况
• ‌耐温范围‌：FKM密封工况-20~120℃，FFKM密封*高可达150℃
• ‌驱动方式‌：伺服电机直驱，无齿轮背隙，0-90°全行程任意开度精准定位
• ‌气源/信号‌：伺服款支持阀位信号输出，可直接对接PLC系统

核心性能特点

• 超薄阀体大通导，面间厚度小，气流阻力低，可大幅提升腔体抽气效率、缩短抽真空周期
• 蝶板采用球面多点压紧密封，真空端、大气端双向压差条件下均可保持可靠密封
• 无金属滑动摩擦零件，产尘量极低，完全满足半导体、镀膜等严苛洁净工艺要求
• 伺服直驱无间隙，启闭冲击小，运行平稳低噪音，可有效保护真空管路与腔体
• 模块化结构设计，密封圈拆装更换便捷，大幅降低产线运维成本
• 无安装姿态限制，水平、垂直、倾斜三种安装方式均可正常工作

典型应用领域

• 半导体：刻蚀、PVD/CVD镀膜设备的真空管路切断、压力闭环调节
• 光学光伏：溅射、蒸发镀膜机的腔体抽气、慢泄压控制
• 新能源锂电：真空烘烤、烧结、脱泡设备的大口径管路隔断
• 真空热处理：退火炉、钎焊炉的大流量真空管路通断控制
• 科研设备：各类大容积高真空实验腔体、电子束设备的抽气调压 

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