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产品资料

山金工业SURPASS超越 液体流量控制器
产品型号：HPID-16-P300P
简介：

小型液体流量控制器 这是一款小巧紧凑的液体流量控制器，它将流量计、电机阀和控制器单元集成在一个单元中。

山金工业SURPASS超越 液体流量控制器  的详细介绍
 > 国内行业别名：**超越流量计**，日本原厂 SURPASS Industry，**只做半导体级液体流量计，无气体 MFC**；接液 PFA/PTFE/ 石英，适配 HF、SPM、显影液、超纯水 UPW，广泛配套日系湿法清洗机、显影设备 BOM。

## 主力系列总览

表格

| 系列 | 测量原理 | 流量范围 | 核心特点 | 典型工况 |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| **ESF** | 超声卡曼涡街 | 0.5~18L/min | PFA 流路，**带本地数显 + 上下限报警**；无运动部件不产颗粒Surpass In... | 现场目视监控，湿法机台、UPW 主支路 |
| **ERL** | 超声卡曼涡街 | 0.5~18L/min | 无显示屏，仅输出 4‑20mA / 脉冲，体积小巧，性价比高 | 机柜内部嵌入式安装 |
| **NTF / VTF‑PK** | TOF 热标记飞行时间法 | **5μL/min～150mL/min** | 直通流路、**死体积极小**；接液 PTFE + 石英玻璃；微量给药回路**Surpass In... | 微量显影液、药剂配比、实验室小试 |
| **Z900M** | 热式液体流量 | 5mL/min‑2.5L/min | 小型紧凑，螺纹接头 | 药液支路中小流量监测 |
| **DPMX** | 差压式 | 10‑1000mL/min | PFA 流路，**抗气泡能力优于涡街** | 容易夹带气泡的腐蚀药液回路 |

> 
> ⚠️共性短板

1. 涡街（ESF/ERL）对气泡敏感，前端建议配置除气装置；
2. TOF（NTF/VTF）测量精度受药液粘度影响，不适合粘度波动大的混合药液。

## 接液材质与输出

- 接液：PFA、PTFE、石英玻璃，兼容氢氟酸 HF、硫酸 SPM、氨水、有机溶剂、超纯水；
- 信号输出：4‑20mA、脉冲输出；ESF/NTF 支持报警；可选购 V‑KIT 通讯套件接 PC 记录流量数据サーパス工...。

## 半导体应用

1. 湿法清洗机、显影机、药液供给 VMB 柜；
2. 微量化学药剂配比、超纯水支路流量监控；
3. 日系设备原厂标配备件（DNS、Screen 湿法设备经常出现该品牌 BOM）。

## 品牌信息

- 原厂：SURPASS Industry Co.,Ltd（サーパス工業）日本；官网：surpassindustry.jp
- 国内俗称：**超越、萨帕斯**；主要进口渠道：天津昂嘉、秋山贸易等。

## 竞品 / 替代速记

1. ESF/ERL 涡街：爱知时计 WV/WVE 系列、SMC PF2W；国产孚升 FF‑U；
2. NTF/VTF TOF 超微流量：同原理优先爱知时计 UTM；预算充足允许改管路，选用**科里奥利质量流量计（不受粘度影响）**。

## 客户一句话话术

> 
> 日本 SURPASS 超越（萨帕斯）液体流量计，ESF/ERL 超声涡街无活动部件，NTF/VTF 采用 TOF 飞行时间法*低可测 5μL/min 微小流量；PFA/PTFE 接液适配各类腐蚀药液与超纯水，大量用于半导体湿法设备药液回路。
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