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产品资料

山金NAPSON纳普森 薄层电阻测量仪
产品型号:RG-3000AL
简介:

由测量测试仪(RT-70V)和平台组成的组合测量系统。 <测量测试仪;RT-70V> 厚度输入,操作简便,采用旋钮式操作(RT-70V 测试仪) 测试仪自检功能/自动切换测量范围功能

山金NAPSON纳普森 薄层电阻测量仪  的详细介绍

日本NAPSON CORPORATION(核心工业测量品牌)

它是全球**同时自主研发、量产接触式和非接触式两类电阻测量设备的厂商,核心技术覆盖四探针接触式测量、非接触式涡流测量两大方向,还延伸出半导体寿命测试、扩展电阻测量、P/N型检测、晶圆平整度/厚度检测等配套技术,测量温度*高可支持到1200℃。

核心产品线

  • ‌接触式全自动设备‌:WS-8800、RG-2000AL,用于半导体晶圆、平板显示的方块电阻全自动分选测量。
  • ‌非接触式全自动设备‌:NC-6800、NC-2000FLA,实现晶圆电阻率、平整度的无损全自动测量。
  • ‌太阳能电池专用设备‌:RG-200PV,专为太阳能电池硅片设计,电阻率测量范围1mΩ·cm ~ 10kΩ·cm,支持*大210×210mm方形样品,搭载X-Y移动平台,位移分辨率可达0.1μm,内置二维/三维Mapping映射软件生成电阻分布可视化图谱。
  • ‌晶圆检测设备‌:FLA-200,支持3~8英寸半导体晶圆的厚度、翘曲度、平整度测量,厚度测量范围200–1200μm,弯曲测量范围±350μm。
  • ‌非接触式手动测量仪‌:EC-80、EC-80P,采用涡流感应检测原理,无需探针穿刺样品表面,实现导电薄膜无损测量,EC-80P专为ITO导电玻璃、柔性导电薄膜等易损伤样品设计,避免测试造成工件报废。
  • ‌宽量程非接触式设备‌:NC-80MAP,支持2~8英寸晶圆测量,可安装*多4个不同量程探针,覆盖10mΩ/sq ~ 3000Ω/sq的薄层电阻范围,*小测量位置距边缘仅8毫米。
  • ‌超高量程非接触式设备‌:CRN-100,采用电晕放电法,测量范围可达10E+9 ~ 10E+15欧姆/平方,适配a-Si、IGZO等高阻薄膜、近似绝缘材料的检测,*大支持300×400mm大尺寸样品。
  • ‌P/N电导率检测系列‌:PN-12α(接触式热电动势法)、PN-50α(非接触光伏效应法)、PN-8LP(笔型便携款)、PN-100BI(在线嵌入式模块),覆盖从实验室抽检到太阳能晶片在线检测全场景。
  • ‌配套标准器件‌:NRW系列电阻率参考晶圆,用于设备日常校准溯源,保障测量精度符合ASTM国际标准。 
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